（1）超精密加工過程

超精加工是用極細(xì)磨粒的油石進(jìn)行光磨的一種光整加工。其加工對(duì)象多為軸類零件的外圓，亦可加工滾動(dòng)軸承溝道及平面等。如圖5．4．3所示，加工時(shí)，裝有油石條的磨頭以恒定壓力P輕壓于工件表面。工件以v= 10～15 m／min的速度旋轉(zhuǎn)，磨頭以0．1～0．15 mm／s的速度縱向進(jìn)給，同時(shí)作往復(fù)振動(dòng)，振動(dòng)頻率為1 000～1 400 s／min，振幅為3～5 mm。磨粒在工件上的運(yùn)動(dòng)軌跡應(yīng)縱橫交錯(cuò)而不重復(fù)。油石條與工件之間要注入潤(rùn)滑油（一般為煤油加錠子油），以清除屑末并形成油膜。工件表面微觀凸峰首先被磨去，隨著各處凸峰高度的減低，油石與工件的接觸面積逐步加大，單位面積承受壓力隨之減小，當(dāng)壓力小于油膜表面張力時(shí)，油石與工件將被油膜分離，切削作用自行停止超精加工生產(chǎn)率很高。

圖5．4．3　外圓的超精加工

（2）特點(diǎn)與應(yīng)用

超精加工主要用于降低表面粗糙度，其值R a可達(dá)0．1～0．01，不能提高工件的尺寸精度和形位精度。因此，前工序無(wú)須留出余量。超精加工可在車床或外因磨床上安置專用磨頭進(jìn)行。大批量生產(chǎn)中，可在超精加工機(jī)床上進(jìn)行。